เครื่องอบก๊าซไนโตรเจนสำหรับงานเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความจุ 200Nm3/ชม. แรงดัน 10 บาร์ อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
เครื่องอบแห้งไนโตรเจนส่วนใหญ่ใช้สำหรับเอาน้ำของก๊าซดิบหลัก (ไนโตรเจน) การดูดซับไฮโดรคาร์บอน ไฮโดรคาร์บอนฮาโลเจน ซัลเฟอร์อินทรีย์ สารประกอบไนโตรเจนและออกซิเจน
กระบวนการทำงานของเครื่องอบแห้ง: การกำจัดก๊าซน้ำดิบและการกำจัดสิ่งสกปรกอื่น ๆ - ช่องทางการกรอง
อุปกรณ์นี้รวมถึงเครื่องอบแห้ง ตัวกรอง ฯลฯ วัตถุดิบจะเข้าสู่เครื่องอบแห้งเพื่อกำจัดน้ำและสิ่งสกปรก เครื่องอบแห้ง 2 เครื่องทำงานสลับกัน สวิตช์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ (เครื่องทำงาน 1 เครื่อง สแตนด์บาย 1 เครื่อง) เพื่อสิ้นสุดการอบแห้งอย่างต่อเนื่องกระบวนการนี้ต้องใช้ตัวดูดซับที่มีประสิทธิภาพและคุณภาพสูง แข็งแรง สร้างใหม่ซ้ำๆ อายุการใช้งานยาวนานขึ้น หลังจากการกรอง เอาฝุ่นออกแล้วส่งไฮโดรเจนที่สะอาด/บริสุทธิ์สำหรับไซต์งาน
อัตราการไหล : 10-10,000 Nm3/ชม
แรงดัน : 5-10 บาร์ (ปรับได้) แหล่งจ่ายไฟ : 380-460V/50-60Hz
จุดน้ำค้าง : ขึ้นอยู่กับสภาวะของก๊าซดิบ
ไม่เกิน -85 °C (ที่อุณหภูมิจุดน้ำค้างเริ่มต้นไม่เกิน -70 °C)
ไม่เกิน -80 °C (ที่อุณหภูมิจุดน้ำค้างเริ่มต้นไม่เกิน -65 °C) ไม่สูงกว่า -72 °C (ที่อุณหภูมิจุดน้ำค้างเริ่มต้นไม่เกิน -20 °C) ระดับการป้องกันการระเบิด: EXdⅡCT4(เครื่องมือ ฯลฯ)
การบริโภคการฟื้นฟู : ＜ 3 %
การควบคุมขั้นตอนการฟื้นฟูอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
PLC ผ่านการโปรแกรมและพารามิเตอร์สำหรับการทำงาน สัญญาณนำเข้าและส่งออก เพื่อควบคุมวาล์ว องค์ประกอบความร้อนเริ่มต้นและปิดเพื่อให้ทราบถึงเครื่องอบแห้ง 2 เครื่องที่สลับการทำงานและการสร้างใหม่โดยอัตโนมัติ
ควบคุมอุณหภูมิโดย PLC, SCR, เทอร์โมคัปเปิ้ล, เครื่องทำความร้อน ฯลฯ ชิ้นส่วนทั้งหมดจะถูกตรวจสอบโดยเทอร์โมคัปเปิ้ลและส่งสัญญาณไปยัง PLC โดย PLC จะดำเนินการตามการโปรแกรม ควบคุมกระแสไฟฟ้า SCR จึงควบคุมแต่ละส่วนพร้อมการตั้งค่าอุณหภูมิ แจ้งเตือน และบล็อค
การป้องกันเพื่อรับประกันความปลอดภัยของอุปกรณ์ในการทำงาน
ฟังก์ชั่นการแจ้งเตือน ได้แก่ การแจ้งเตือนอุณหภูมิ การแจ้งเตือนการไหล การแจ้งเตือนดัชนี
